半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
雖然半導(dǎo)體在硅谷衰落，但“亞洲制造”的力量不容小覷，半導(dǎo)體在亞洲地區(qū)成為了重要產(chǎn)業(yè)。近年來中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，其銷售額甚至超越了全球和美國的平均水平，占據(jù)了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的三分之一。不過相比于高額的銷售量，大量進(jìn)口的半導(dǎo)體材料折射出了國內(nèi)在半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的弱勢(shì)。
半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)處于集成電路制造環(huán)節(jié)的上游，材料的質(zhì)量直接影響集成電路產(chǎn)品質(zhì)量。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中規(guī)模最大的產(chǎn)品，集成電路生產(chǎn)工藝極為精細(xì)和復(fù)雜，任何一步發(fā)生錯(cuò)誤都會(huì)造成器件失效。因此，針對(duì)以精細(xì)著稱的半導(dǎo)體產(chǎn)品，質(zhì)量檢測(cè)離不開更為精細(xì)化、智能化的儀器設(shè)備。為了更好地滿足半導(dǎo)體行業(yè)用戶對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)的需求，上海西努光學(xué)科技有限公司秉持著“以光學(xué)為核心，為客戶提供解決方案”的經(jīng)驗(yàn)思路，特此引進(jìn)并向用戶推出奧林巴斯新一代半導(dǎo)體MX63和MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡。
MX63系列工業(yè)檢測(cè)顯微鏡
憑借功能性、人性化、先進(jìn)成像技術(shù)以及模塊化四大特色，MX63和MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷，及時(shí)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品問題所在并予以解決。
一、功能性：先進(jìn)的分析工具
1、MIX+Stream不再“霧里看花”
從最基本的功能性來說，MX63系列絕對(duì)是一款先進(jìn)的分析工具，能夠滿足行業(yè)用戶對(duì)樣品進(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。借助全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)，用戶在評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果時(shí)將會(huì)有更多選擇。
以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最重要的根基——晶圓為例，傳統(tǒng)顯微鏡在觀察時(shí)會(huì)由于功能不足，明場(chǎng)條件下難以觀察到清晰的集成電路圖形，暗場(chǎng)又看不見晶圓的顏色。 為了保證質(zhì)量，檢測(cè)過程中還會(huì)檢查晶圓中殘留的光致抗蝕劑等污染物。傳統(tǒng)顯微鏡熒光條件下可以觀察到殘留物，但卻看不見樣品本身;暗場(chǎng)條件下看見了樣品，殘留物又看不清晰了。為了保證在明場(chǎng)與暗場(chǎng)、熒光或偏光各種條件下，都能得到想要的觀察圖像，MX63系列采用MIX觀察技術(shù)，幫助用戶不再“霧里看花”。
MIX觀察技術(shù)
通過顯微鏡觀察到之后又想生成圖像怎么辦?MX63系列先進(jìn)的圖像采集技術(shù)開發(fā)出多種功能，幫助用戶輕松生成需求的圖像。譬如多圖拼接(MIA)功能，用戶只需移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接。再利用Stream軟件的圖案識(shí)別功能最終生成全景圖像，從而獲得更寬的視場(chǎng)。如果想獲得攝影作品那般的景深效果又該如何?Stream軟件的擴(kuò)展聚焦成像(EFI)功能就可以滿足。
此外，專業(yè)級(jí)報(bào)告對(duì)圖像的視覺品質(zhì)有要求。圖像上的眩光問題想必困擾了不少用戶，M63系列的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)功能就可以調(diào)整亮度差異從而解決這一影響畫質(zhì)的問題。體現(xiàn)出該系列顯微鏡與其他同類產(chǎn)品相比，精益求精的高端之處。
2、Stream最大限度減輕用戶工作負(fù)擔(dān)
靠肉眼觀察無法確定產(chǎn)品質(zhì)量是否合格，用數(shù)據(jù)說話才能真正保質(zhì)保量。Stream軟件同樣包括交互測(cè)量功能，可滿足電路板圖形之間距離等基本數(shù)據(jù)測(cè)量。為了縮短測(cè)量過程中大量重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，Stream還推出了材料解決方案，可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面，用戶只要點(diǎn)擊按鈕就能快速精準(zhǔn)完成圖像分析任務(wù)。
測(cè)量技術(shù)
采集完圖像并得到了測(cè)量結(jié)果，就該寫讓人頭痛的復(fù)雜報(bào)告了。對(duì)此，Stream軟件也能為用戶辦到。除了提供模板，簡(jiǎn)化編輯方式，軟件還可以自動(dòng)導(dǎo)出大小適中、便于郵件傳輸?shù)腗icrosoftWord或PowerPoint文件，真正讓用戶體驗(yàn)到了“輕辦公”。此外，使用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)的MX63是一套獨(dú)立系統(tǒng)，所以采集圖像和基本測(cè)量工作都可以在幾乎不占空間的條件下完成。如此一來，實(shí)驗(yàn)室空間得到了充分利用，用戶的工作環(huán)境也變得更為舒適。
3、專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)
實(shí)驗(yàn)室內(nèi)工作最害怕什么?樣品污染或者受損!這將導(dǎo)致前期為樣品準(zhǔn)備的一切工作付諸流水。MX63系列在考慮到這一點(diǎn)的同時(shí)，加入了人體工學(xué)設(shè)計(jì)，保證用戶在長(zhǎng)時(shí)間使用中既能保證舒適，還能保證樣品不受污染。以下四大功能真正讓用戶的雙手遠(yuǎn)離了樣品。
①選配晶圓自動(dòng)搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)*：“懶人”福音
這款搬運(yùn)機(jī)與顯微鏡相結(jié)合使用，可以安全地將硅及復(fù)合半導(dǎo)體晶圓從晶圓匣運(yùn)送到顯微鏡載物臺(tái)上。從此操作人員再也不必使用鑷子或者其他工具戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢地運(yùn)送樣品了。
MX63系統(tǒng)與AL120晶圓自動(dòng)搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))
②防護(hù)結(jié)構(gòu)殼+電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器：快速、清潔
顯微鏡所有電動(dòng)組件都被安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理，實(shí)現(xiàn)了無污染的晶片檢測(cè)。而電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器不僅縮短了檢測(cè)間隔時(shí)間，還讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。
防靜電呼吸罩和電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
③內(nèi)置離合+傾斜觀察鏡筒：高效、舒適
只要利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)，樣品再大都能實(shí)現(xiàn)高效觀察。此外，傾斜觀察鏡筒的擴(kuò)展范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。
載物臺(tái)手柄和傾斜觀察鏡筒
④系統(tǒng)配置：適合所有晶圓尺寸
該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓托架和玻璃臺(tái)板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，可更改載物臺(tái)或鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測(cè)75毫米、100毫米、125毫米和150毫米晶圓。
晶圓托架和玻璃臺(tái)板
二、人性化：“有溫度”的人體工學(xué)設(shè)計(jì)
MX63系列不止是一套功能多樣的優(yōu)質(zhì)設(shè)備，還是一件有溫度的人性化產(chǎn)品。該系列的“貼心”之處充分體現(xiàn)在顯微鏡操作上。想必不少初學(xué)者在使用相機(jī)時(shí)會(huì)出現(xiàn)對(duì)焦不準(zhǔn)、照片模糊、曝光不足等等問題。相比于經(jīng)驗(yàn)豐富者傾向于手動(dòng)調(diào)整焦距、光圈、速度，一般人比較喜歡選擇自動(dòng)功能。同樣使用光學(xué)原理制成的顯微鏡有沒有這種自動(dòng)功能呢?MX63告訴你，也可以輕松做到。針對(duì)裸晶片之類低對(duì)比度樣品，MX63系列在光程中插入聚焦輔助，可以幫助用戶快速找到焦點(diǎn)。此外，相比于需要手動(dòng)調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑的傳統(tǒng)顯微鏡，用戶使用MX63系列時(shí)，可以針對(duì)不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)和孔徑條件。需要的時(shí)候能夠輕松調(diào)用這些預(yù)先設(shè)定的設(shè)置，既能節(jié)省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量，免去了用戶的使用煩惱。集中化顯微鏡操作、手動(dòng)開關(guān)以及快照按鈕等其他人體工學(xué)設(shè)計(jì)，也大大提升了MX63的人性化水平。
多種人體工學(xué)設(shè)計(jì)
三、先進(jìn)成像技術(shù)：精細(xì)的光學(xué)性能與數(shù)碼成像
奧林巴斯以高質(zhì)量光學(xué)器件和先進(jìn)數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史聞名。MX63系列同樣為質(zhì)量檢驗(yàn)提供了精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)，充分體現(xiàn)了奧林巴斯的工藝水平。
隨機(jī)點(diǎn)樣本和強(qiáng)度分布
物鏡鏡頭的光學(xué)性能對(duì)于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接影響。MX63的UIS2高倍率物鏡最大限度減小波陣面像差，從而幫助用戶獲取可靠的分析結(jié)果。高強(qiáng)度白色LED光源可保持始終如一的色溫，色彩再也不會(huì)因?yàn)楣鈴?qiáng)的變化而變化，可靠的圖像質(zhì)量和色彩浮現(xiàn)得以實(shí)現(xiàn)。除了圖像生成和分析，后續(xù)的測(cè)量工作也可以借助Stream軟件的自動(dòng)校準(zhǔn)功能提升可靠性。這款軟件還具備陰影校正功能，可解決圖像角落周邊陰影問題。在配合強(qiáng)度閾值設(shè)置使用時(shí)，陰影校正可實(shí)現(xiàn)更加精確的分析。
四、模塊化：兼容性和靈活性兼?zhèn)?
用戶需求永遠(yuǎn)存在差異，個(gè)性化的需求能夠用標(biāo)準(zhǔn)化的技術(shù)生產(chǎn)體系來滿足嗎?倒不如將生產(chǎn)體系調(diào)整為模塊化，生產(chǎn)出模塊化產(chǎn)品來緩解這種矛盾。MX63系列就是一款極具兼容性和靈活性的模塊化產(chǎn)品，讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測(cè)和應(yīng)用需求。用戶還可以從一系列的Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。
在兼容性上，無論是MX63系統(tǒng)還是MX63L系統(tǒng)，都具有相同的較小占用空間，可兼容多種樣品規(guī)格。在物鏡選擇上，也兼容紅外觀察。5X到100X紅外物鏡可實(shí)現(xiàn)從可見光波長(zhǎng)到近紅外波長(zhǎng)的色差校正。
在靈活性上，用戶完全可以按自己的要求打造獨(dú)有的奧林巴斯系統(tǒng)。顯微鏡鏡架、鏡筒、目鏡、載物臺(tái)、光源、物鏡轉(zhuǎn)換器、滑塊、手動(dòng)控制器、相機(jī)適配器、濾光片、分光鏡組件、透射照明單元、中間鏡筒、UIS2物鏡……這些組件均具備多種規(guī)格供用戶挑選搭配。MX63系統(tǒng)在模塊化上可以說做到了一種極致。
產(chǎn)品設(shè)計(jì)
集四大特色于一身的MX63和MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡，以最先進(jìn)全面的技術(shù)和最實(shí)用舒適的設(shè)計(jì)，成為業(yè)內(nèi)同類產(chǎn)品之間的佼佼者。上海西努光學(xué)科技有限公司于近幾年獲得了奧林巴斯品質(zhì)管理資格認(rèn)可，并開始引進(jìn)奧林巴斯工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品。憑借十余年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和對(duì)用戶需求的精準(zhǔn)分析，西努光學(xué)推出MX63系列，為用戶提供卓越的光學(xué)解決方案，助力電子制造業(yè)尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在我國的升級(jí)改造。未來隨著企業(yè)技術(shù)、資源和服務(wù)的提升，相信西努光學(xué)將繼續(xù)在國內(nèi)光學(xué)產(chǎn)品供應(yīng)商當(dāng)中一路領(lǐng)跑，在獲得更多國內(nèi)外儀器廠商認(rèn)可的同時(shí)獲得用戶的信賴。
